• 防锈性

在与真空环境接触的材料一定要具有良好的防锈性能。因此广泛采用铝合金，铜合金和不锈钢来制造真空隔离部件。

• 工作压力范围在 0～2.5×105Pa

相对较宽的压力范围，会使产品的使用面更广泛，而且阀板的密封是双向的，阀板在反顶大气压时也可密封

• 低漏率

在高真空领域内漏率应<10-7Pa·l·s-1,较低的漏率有利于提高系统的效率，对降低生产成本非常有效

• 起动时，震动低，对系统冲击小。

• 结构紧凑，重量轻

• 明显的阀位指示，可选配加装阀门启闭信号控制器，便于自动化可编程控制。

• 高流导

• 采用波纹管作为位移的动密封

无动态漏气，无油脂污染，可靠性高，相对橡胶密封，可靠性更高并可以避免产生颗粒污染。

• 真空部分尽量避免采用真空脂。

• 尽量减少真空部件内的无用空间，以保证真空获得的时间更少。

• 低能耗设计